Warstwowe czujniki cieplne

Berlicki T.

Współczesne czujniki do pomiaru wielkości fizycznych wykorzystują różne zjawiska fizyczne: elektryczne, optyczne, magnetyczne, chemiczne, a także cieplne. W pracy omówiono czujniki, których działanie opiera się na zjawiskach cieplnych, przede wszystkim takie, które można wykonać technologiami mikroelektronicznymi.

Więcej